數據修正
在分析之前標準化表面並去除偽影。工具包括：
調平。
在水平或垂直軸上翻轉。
以1度為增量旋轉。
區域提取。
糾正或移除異常掃描線。
閾值去除尖峰。
修飾孤立的工件
去卷積以最小化尖端對測量數據的影響。
填補缺失的數據點。
表面平滑。
重新採樣以提高圖像分辨率。